产品概述

TC-AOI800 是天成半导体推出的高速晶圆缺陷检测解决方案。

主要指标

• 最小检测尺寸：0.1μm
• 检测速度：400片/小时（8英寸）
• 误检率：<0.5%
• 软件：支持缺陷分类与数据统计报表